1、電子半導體廢水的種類

由於半導體公司的產品不同，各公司生產過程中產生的（de）廢水種類都不一樣，各公司對產生的廢水來源不一樣所進行的分類也不一樣。總的來水，半導體行業的廢水可以分為含氟廢水、含磷廢（fèi）水、有機廢水、研磨廢水、氨（ān）氮廢水和酸堿廢水。如無錫華潤上（shàng）華沒（méi）有含磷廢水，上海（hǎi）天馬沒有研磨廢水。

2、電子半導體廢水的來源（yuán）

含氟廢水主要來（lái）源於來自於自芯片製造過程中的擴散工序及化學機（jī）械研磨（mó）工序，在對矽（guī）片及相關器皿的清洗過程中也多（duō）次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強的破壞作（zuò）用。汙染物主（zhǔ）要為氟離子。含磷廢水主要來源於生產工程中的鋁刻蝕液。有機廢水，由於生產工藝的不同（tóng），有（yǒu）機（jī）溶劑的使（shǐ）用量對於半導（dǎo）體行業而言具有很大的差距（jù）。但是作為清洗劑，有機溶（róng）劑仍然普遍（biàn）使用在製（zhì）造封裝的各個環節上。部分溶劑則成為有機廢水排放。有機廢水主（zhǔ）要來源於IPA溶劑（jì）、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。